光刻機

光刻線條特征尺寸：
  應用實例1：深紫外光源下0.25um線條
  Scanning Electron Micrographs 電子顯微鏡圖像
  Feature Sizes圖像尺寸0.25微米線條
  采用TOK DUV 光刻膠，200nm光學鏡，光刻膠厚度0.45微米。曝光時間40秒。